产品贴膜

掩膜保护膜（mask pellicle）是蒙贴在铝合金框架上的一层透明薄膜，防止灰尘掉落在掩模有图形的一侧。有了这个薄膜的保护，灰尘颗粒只能掉落在掩模版玻璃的一侧或保护膜上。掩模保护膜的工作原理：由于保护膜物理厚度的存在，在曝光（光刻）的过程中即使沾染了颗粒污染物，也会由于焦距的原因，使得颗粒物的像不会聚焦在晶圆表面，从而降低颗粒污染物对光刻的影响。

物理保护：保护掩膜版表面的图案免受在搬运或使用过程中的物理损伤。防止灰尘和其他污染物落在掩膜版表面。
化学保护：防止化学试剂或腐蚀性气体与掩膜版表面发生化学反应。